碳化硅陶瓷

我公司拥有混料设备、造粒设备、冷等静压机、雕铣机、加工中心、平面磨床、真空烧结炉等碳化硅陶瓷的生产加工设备,可实现从碳化硅粉体造粒、成型、陶瓷烧结、加工的一体化生产,产品广泛应用于集成电路制造装备、LED、光伏、石化等行业。此外,可根据客户的具体需求进行定制化开发、生产。

1.碳化硅陶瓷托盘

碳化硅陶瓷托盘主要用于LED、光伏等半导体行业,其用途是承载蓝宝石片或硅片进行PVD镀层、等离子刻蚀等工艺。我公司可生产Φ300、Φ330、Φ370等多种规格的碳化硅陶瓷托盘。

2.碳化硅陶瓷密封件

无压烧结碳化硅密封件具有优良的耐磨损、耐高温、耐酸碱腐蚀等性能,工作环境最高可以到达1650℃,主要应用于石油、化工、汽车、核工业等行业。我公司目前可制备多种型号规格的碳化硅陶瓷密封件。

3. 复杂结构碳化硅陶瓷零部件

复杂结构碳化硅陶瓷零部件是通过减重、功能附加、仿真计算等过程设计而成,其具有结构复杂、质量轻、制备难度大等特点,多用于航空航天、集成电路制造装备、LED、光伏等行业。我公司制备的典型碳化硅陶瓷零部件有反射镜、磁钢骨架、水冷盘、真空吸盘等。


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